氧化物陶瓷靶材屬于陶瓷產(chǎn)品，由于對純度、密度、尺寸、形狀，以及成分、結構、均勻性等都有特殊要求，其制備南都較高。氧化物陶瓷靶材作為重要的關(guān)鍵基礎材料，多年來(lái)一直被靶材研究人員關(guān)注。與德國、日本等世界靶材強國相比，我國陶瓷靶材研究相對落后，但是近年來(lái)，隨著(zhù)全球光電產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，國內大型靶材公司加大投入，取得了很大的成果。         陶瓷靶材結構的發(fā)展鍍膜市場(chǎng)不僅對各種鍍膜產(chǎn)品尺寸、鍍膜品質(zhì)、生產(chǎn)效率及制造成本提出了嚴格的要求，也對陶瓷靶材的結構提出了新的要求?？v觀(guān)陶瓷靶材的研究歷程以及市場(chǎng)需求狀況，陶瓷靶材結構的發(fā)展趨勢主要體現在以下幾方面。        1.  組織均勻：靶材作為制備大面積薄膜的原材料，如果組織結構不均勻，則會(huì )嚴重影響到薄膜的厚度、組分等均勻性，對薄膜性能的均勻性產(chǎn)生很大的影響。如ITO、AZO或IGZO靶材，同一塊靶材或者同一批次靶材其密度均勻性越高，濺射時(shí)越不易中毒而產(chǎn)生節瘤，而且制備的薄膜厚度、方阻、透光率更均勻。         2. 高密度化：雖然提高靶材的密度增加了靶材制造的難度，但是對靶材的使用，薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量以及綜合成本的降低有明顯的好處。高密度靶材其表面粗糙度低，有效濺射面大，濺射效率高，靶材本身表面黑化趨勢降低，并且制得的薄膜電阻率低 。同時(shí)，高密度陶瓷靶材可以提高靶材的使用壽命，從而降低了靶材的使用成本。        尤特新材是國家高新技術(shù)企業(yè)，公司成立于二00三年，有經(jīng)驗從事信息、鍍膜、太陽(yáng)能材料的科研與生產(chǎn)，是集科研、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的中外合資企業(yè)。