主要配置 參數 型號 FalconScan-14 振鏡參數 入射光斑 14mm 跟隨誤差 0.24ms 標刻速度 50~100rad/s 定位速度 50~100rad/s 1%全行程 0.56ms 10%全行程 1.64ms 重復精度 < 1µrad 增益漂移 < 10ppm/K 零位漂移 < 15µrad/K 8小時(shí)漂移 < 0.05mrad 非線(xiàn)性度 <0.1% 掃描角度 ±25° 小字符速度 680cps 信號波長(cháng) 通訊接口 XY2-100 Enhanced；JCZ24-100 供電參數 供電電源 ±15VDC，≥5 A 基本參數 工作溫度 25±10℃ *注: 典型參數，可以根據工藝需求作定制調校    典型應用   FalconScan-14精*密振鏡可用于光伏加工、金屬3D打印、半導體、極耳切割、精*密切割/焊接等。