主要配置 主要配置 參數 型號 G3 Ult II 振鏡參數 入射光斑 10mm 跟隨誤差 0.11ms 標刻速度 8000mm/s 定位速度 15000mm/s 1%全行程 0.26ms 10%全行程 0.62ms 重復精度 < 2µrad 增益漂移 < 100ppm/K 零位漂移 < 25µrad/K 8小時(shí)漂移 < 0.1mrad 非線(xiàn)性度 < 0.4% 掃描角度 ±0.35rad 信號波長(cháng) 通訊協(xié)議 XY2-100 波長(cháng) 10600nm、1064nm、532nm、 355nm 供電參數 供電電源 ±15VDC，5安 基本參數 重量 2100g 工作溫度 25±10℃       典型應用 G3 Ult II振鏡可用于半導體、極耳切割、印刷電路板、脆性材料切割、金屬微孔等。