北京天恒誠悅科技有限公司
主營(yíng)：PLD真空鍍膜機,多功能離子鍍膜機,卷繞鍍膜機,蒸發(fā)鍍膜機,ICP等離子刻蝕設備
主營(yíng)：PLD真空鍍膜機,多功能離子鍍膜機,卷繞鍍膜機,蒸發(fā)鍍膜機,ICP等離子刻蝕設備
所在地:
北京 北京
產(chǎn)品價(jià)格:
電議(大量采購價(jià)格電議)
最小起訂:
1
物流運費:
買(mǎi)家承擔運費
發(fā)布時(shí)間:
2011-06-22
有效期至:
2011-12-22
產(chǎn)品詳細
本設備為多功能型超高真空等離子增強化學(xué)氣相沉積設備主要由全真空專(zhuān)用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統，電源，生長(cháng)機體載體及溫控系統，獨立排氣和生長(cháng)壓力調節系統，冷卻循環(huán)水輔助設備等組成。整機結構緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設備控制系統采用邏輯按鈕手動(dòng)控制與工控機自控控制可選。實(shí)現真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si：H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導體及金屬膜等
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