三、靶材安裝

靶材安裝過(guò)程中較重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會(huì )造成靶材安裝時(shí)發(fā)生開(kāi)裂或彎曲，背靶到靶材的導熱性能就會(huì )受到很大的影響，導致在濺射過(guò)程中熱量無(wú)法散發(fā)較終會(huì )造成靶材開(kāi)裂或脫靶 
為確保足夠的導熱性，可以在陰較冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意一定要仔細檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度，同時(shí)確保O型密封圈始終在位置上