【中玻網(wǎng)】1、技術(shù)背景

真空（詞條“真空”由行業(yè)大百科提供）磁控濺射鍍膜技術(shù)是通過(guò)真空磁控濺射鍍膜機實(shí)現的，鍍膜機內由不同級別的真空泵抽氣，在系統內營(yíng)造出一個(gè)鍍膜所需的真空環(huán)境，真空度要達到Low-E鍍膜所需的本底真空，一般在(1~5)×10-8Pa。在真空環(huán)境中向靶材(陰較（詞條“陰較”由行業(yè)大百科提供）)下充入工藝氣體氬氣(Ar)，氬氣在外加電場(chǎng)(由直流或交流電源產(chǎn)生)作用下發(fā)生電離生成氬離子(Ar+)，同時(shí)在電場(chǎng)E的作用下，氬離子加速飛向陰較靶并以高能量轟擊靶表面，使靶材產(chǎn)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子(或分子)沉積在玻璃基片上形成薄膜。同時(shí)被濺射出的二次電子在陰較暗區被加速，在飛向基片的過(guò)程中，落入設定的正交電磁場(chǎng)的電子阱中，直接被磁場(chǎng)的洛倫茲力束縛，使其在磁場(chǎng)B的洛倫茲力作用下，以旋輪線(xiàn)和螺旋線(xiàn)的復合形式在靶表面附近作回旋運動(dòng)。電子e的運動(dòng)被電磁場(chǎng)束縛在靠近靶表面的等離子區域內，使其到達陽(yáng)較前的行程大大增長(cháng)，大大增加碰撞電離幾率，使得該區域內氣體原子的離化率增加，轟擊靶材的高能Ar+離子增多，從而實(shí)現了磁控濺射高速沉積的特點(diǎn)。在運用該機理開(kāi)發(fā)Low-E膜系的過(guò)程中，要注意以下幾個(gè)問(wèn)題：①保證整體工藝中各個(gè)環(huán)節的可靠性（詞條“可靠性”由行業(yè)大百科提供）。具體包括靶材質(zhì)量、工藝氣體純度、原片新鮮程度、原片清洗質(zhì)量等基礎因素，這一系列因素會(huì )對Low-E鍍膜玻璃產(chǎn)品的較終質(zhì)量產(chǎn)生影響。②選擇合適的靶材。要建立的膜系是通過(guò)對陰較的前后順序布置實(shí)現的。③控制好各環(huán)節的工藝性能及參數。如適合的本底真空度、靶材適用的濺射功率、工藝氣體和反應氣體用量與輸入均勻性、膜層厚度等?？傊?，只有控制好以上各因素，才能夠保證所開(kāi)發(fā)的雙銀Low-E鍍膜玻璃具有穩定的顏色、優(yōu)異的機械性能和可加工性。

此外，在雙銀膜系開(kāi)發(fā)過(guò)程中，原始數據的積累和歸納分析非常重要。原始數據應該包括：膜層結構、各個(gè)單層膜的厚度和均勻性調試數據、雙銀Low-E樣片的光學(xué)參數、面電阻及理化性能試驗數據等。

2、雙銀Low-E鍍膜玻璃膜系的開(kāi)發(fā)過(guò)程

雙銀Low-E鍍膜玻璃膜系開(kāi)發(fā)過(guò)程中有3個(gè)必要條件必須保證：一是硬件的保證。離線(xiàn)雙銀Low-E產(chǎn)品的實(shí)現是基于可生產(chǎn)大面積建筑用鍍膜玻璃的真空磁控濺射設備;二是合理的膜層結構設計?；趯Ω髂硬牧闲阅艹浞掷斫庹莆盏幕A上，進(jìn)行合理的膜層結構設計，才能確保產(chǎn)品在機械性能、舒緩反應性能、可加工性上的優(yōu)異表現;三是有清晰的開(kāi)發(fā)流程。明確開(kāi)發(fā)流程各階段的關(guān)鍵參數及工作要點(diǎn)，重視原始數據的記錄和分析。