工廠(chǎng)低價(jià)轉讓 2臺日本新科隆ACE-1100DS 雙槍?zhuān)毓饪?，深冷系統構成基片傘架球狀傘架(Φ718、Φ950、Φ1200、Φ1400、Φ1700)、錐形傘架、平板夾具、反轉夾具光學(xué)式膜厚計OPM-Z1水晶式膜厚計XTC/3S、IC/6電腦系統SDC-I蒸發(fā)源電子槍方式、電阻加熱方式坩堝φ35/φ40坩堝離子源NIS-175、NIS-120、離子束輔助鍍膜、離子束清洗設備性能排氣時(shí)間達到2×10-3Pa不超過(guò)10分鐘(基片溫度設定為300℃)極限真空壓不超過(guò)5×10-5Pa基片加熱溫度常用250℃膜厚分布Δnd＜±1.0％(按本公司標準發(fā)貨基準)安裝條件（例）ACE-1350S所需電力三相　200V±10％　約70kW(電力)所需冷卻水約72L/min、18〜25℃(標準20℃)所需壓縮空氣不低于0.5MPaG(0.7MPaG)安裝面積W5150mm×D7000mm×H3150mm，頂棚高度不低于3500mm總重量約7600kg